Az előállítani kívánt vákuumnál rosszabb vákuum, vagyis nagyobb nyomás, amelyet azért állítanak elő, mert a végvákuumot előállító, legtöbb szivattyú csak az atmoszferikusnál kisebb nyomásra képes a kiszívott gázokat vagy levegőt komprimálni. A szokásos megoldás ezért kétlépéses: az atmoszferikus nyomásról elővákuumszivattyúval 1...10^-3 torr nyomású elővákuumot létesítenek, erről pedig egy másfajta szivattyúval a technológiai művelethez szükséges végvákuumot.