|
|
|
A katódporlasztás katódporlódás felhasználása felületek bevonására; mint ilyen a vákuumpárologtatáshoz hasonló célú technológiai eljárás. Mintegy 10-2...10-4 torr nyomású nemesgázban, egyenáramú vagy nagyfrekvenciás, dióda-rendszerű, vagy triódarendszerű porlasztóberendezésekben végzik. Egyenáramú katódporlasztással csak fémbevonatok, míg nagyfrekvenciás katódporlasztással fém- és szigetelőbevonatok készíthetők. A porlasztandó anyag (target) mindig nagy negatív feszültségen van; triódás rendszerekben ezen kívül még külön izzókatód és anód is van a gázt ionizáló elektronáram előállítására. Tantál integrált áramkörök előállításánál a tantálábrát katódporlasztással szokták felvinni a szigetelő alapú hordozóra. Lásd még:
|
|
|
