Olyan félvezető, amely az URH és mikrohullámú tartományban oszcillátorként működik. Általában üregrezonátor belsejében helyezik el. Hátránya a csekély hatásfok és a hőérzékenység. Kimenő teljesítményük 20 GHz-en elérheti a 0,1 W-ot.