Külső térerő hatására a kisebbségi töltéshordozók felhalmozódása és a inverzió többségi töltéshordozók eltávolodása oly mértékben, hogy az előbbiek koncentrációja meghaladja az utóbbiakét. Az inverzió általában keskeny felületi rétegben, az inverziós rétegben következik be. Az inverzió lehet káros (pl. planár tranzisztoroknál), de hasznos is (pl. térvezérelt tranzisztor).
Lásd még: