Fizikai jelenség, a felgyorsult ionok becsapódása (általában szilárd) anyag felületébe. A becsapódó ion a felületet porlasztja, vagyis onnan részben az anyag saját atomjait, molekuláit, részben az adszorpció által megtapadt idegen molekulákat távolítja el. Az ionbombázás ily módon a felület tisztításakor hasznosítható, viszont az elektroncsövek katódjait érő ionbombázás káros, amennyiben a katód felületét roncsolja, s annak emissziós élettartamát rövidíti.