|
|
|
Planár technikával készített félvezetőeszközök (diódák, tranzisztorok, integrált áramkörök), továbbá vékonyréteg- és vastagréteg-áramkörök gyártásához használatos segédeszköz, amelynek segítségével a rajzolatokat (pattern) viszik át a hordozó (szubsztrátum) felületére. Az ábrát nagyított (10...+100-szoros) léptékben készítik el és egy vagy több lépésben fényképezéssel kicsinyítik. Félvezető eszközök gyártásához fotomaszkokat vagy kevésbé sérülékeny krómmaszkokat használnak. Ez utóbbiaknál üveglapra felvitt krómréteg fedi a rajz átlátszatlan részeit. A planár technikában egymást követő lépésekben több (3...6) maszkot használnak, ezért pontos illeszkedésről kell gondoskodni. Végső kicsinyítésben egyetlen
400...2000 azonos ábrát tartalmaz; a kielégítő pontosságot léptető-fényképező kamerával (step and repeat camera) érik el. A vékony- és vastagréteg-áramkörök maszkjai nagyobb méretűek, kevésbé finom rajzolatúak, egy maszkra csak 1...20 ismétlődő ábra fér el. Ezeknél az áramköröknél fotomaszkokat vagy vékony fémlemezből kémiai marással készített fémmaszkokat használnak.
Lásd még:
|
|
|
