(Metall-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor). Szigetelt vezérlőelektródás térvezérelt tranzisztor, melyben a szigetelőréteg szilicium-oxid. Ezt a szilícium alaplapka oxidálásával állítják elő. A MOS FET igen érzékeny az oxid tisztaságára; a szennyeződések a karakterisztikák eltolódását okozhatják.
Lásd még:
