Szennyező atomok elhelyezkedése a szennyezett kristályok rácsszerkezetében a kristályt alkotó atomok helyén, az egyes rácspontokban. Az így beépült atomok, főleg, ha méretük a rácsszerkezetet alkotó atomoktól nem tér el lényegesen, kevésbé befolyásolják a kristályszerkezet folyamatosságát. A kristályok rácsszerkezetébe szubsztitúciósan beépített donor és akceptor jellegű szennyezők jelenléte a kristályban elektron-, ill. lyukvezetést hoz létre.
Lásd még: