Akkor keletkezik, amikor elektromos töltésű részecskék egy céltárgyra (target) becsapódnak. A target általában olyan feszültséget kap, amely felgyorsítja az adott térrészben levő részecskéket. Ez lehet pl. ionizált gáz, ekkor a target katódként működik, és negatív feszültségre keli kapcsolni. A becsapódó pozitív ionok elporlasztják a katód anyagát, s az a gáztérben elhelyezett tárgyakon lerakódik (katódporlasztás). A targetáram lehet tiszta egyenáram vagy egyen- és váltakozó áram összege.