Folytonos rácsszerkezetű kristály, amelyben az atomok meghatározott geometriai rendben helyezkednek el. Az egykristály elemi kockák (paralelepipedonok) háromdimenziós halmazának tekinthető és meghatározott kristálysíkok mentén könnyen darabolható, hasítható. A félvezető eszközök készítéséhez felhasznált kristályok általában egykristályos szerkezetűek. E kristályok tulajdonságait a kristályrácsba beépített idegen atomok (szennyezett kristály) befolyásolják. A szubsztitúciósan beépült atomok elsősorban az elektromos vezetési tulajdonságokat módosítják, míg az intersztíciósan beépült szennyezők a szabad töltéshordozók élettartamát csökkentik (szubsztitúciós és intersztíciós beépülés). Hasonló hatással vannak a geometriai deformációk formájában jelentkező rácshibák, a diszlokációk is.

• félvezető eszköz
• szennyezett kristály
• diszlokáció
• intersztíciós beépülés