Félvezető eszközök ( diódák, bipoláris és térvezérléses - tranzisztorok, félvezető alapú integrált áramkörök) előállítására jelenleg általánosan használt eljárás. Alkalmazásának feltétele, az olyan konstrukció, hogy a kivezetések - egy kivételével - a hordozó (szubsztrát) egyik oldalán legyenek. Kb. 200mm vastag szilícium lemezek (?lapkák") felületén először - oxidálással szilícium-dioxid (SiO2 , kvarc) védőréteget alakítanak ki. Ezt kb. 0,3 mm vastag fotoreziszt (fotolakk) réteggel vonják be, utána maszkon keresztül ultraibolyafénnyel megvilágítják, majd ?előhívják". Az előhívás pl. triklór-etilénben történik. A negatív fotoreziszt a fény hatására polimerizál, így az előhívás által a nem megvilágított helyeken oldódik ki a fotoreziszt, a pozitív fotoreziszt pedig éppen ellenkezőleg, a fény hatására válik oldhatóvá. A maszkolás által így a fotoreziszttel nem védett felületrészeken pl. ammonium -fluoridos marószerrel eltávolítják a SIO2-réteget, vagyis ablakot nyitottak a védő-oxidrétegben. Az ablakokon át megy végbe az adalékanyag (donor vagy akceptor) diffúziója. Ezután újabb oxidálással második védőréteget állítanak elő és az előző műveletsort annyiszor ismétlik, ahányszori diffúziót kell alkalmazni az eszköz kialakításához. Az utolsó ablaknyitás után következő művelettel, a fémezéssel állítják elő az áramhozzávezetések csatlakoztatására és az elemek villamos összekötésére szolgáló apró fémfelületeket, vezetőcsíkokat. Az áramhozzávezető huzalokat rendszerint termokompressziós hegesztéssel kapcsolják a fémréteghez. A planár technika egyetlen szilícium lapkán több száz, esetleg néhány ezer diszkrét félvezető eszköz, vagy integrált áramkör előállítását teszi lehetővé. Az egyes diódákat, tranzisztorokat vagy áramköröket úgy választják szét, hogy a Si-hordozót gyémánt heggyel karcolják és a karcolások mentén széttördelik. A befejező műveletek: a különféle mérések és a tokozás. A planár technika erősen kiszorította a régebben használatos egyéb technológiákat, jelenleg a szilícium alapú félvezető eszközök általánosan elterjedt gyártási eljárása.
Lásd még:
